leybold莱宝残余气体分析仪的工作原理介绍

首先LEYSPEC 残余气体分析仪 (RGA) 产品系列可实现简单直观的操作。

按下按钮，即可显示关键气体的分压，如果您的工艺涉及额外的气体，还可以将其分配到备用显示通道进行显示。 

LEYSPEC 可达到较高的加热除气温度，因此非常适合在要求苛刻的高真空和超高真空应用中使用。 

leybold莱宝残余气体分析仪的工作原理

测量元件是一个热阴极电离真空计。电子从热丝中发射出来，并通过电偏压装置加速射向源位置。快速移动的电子与气体分子发生碰撞，撞出电子，从而对气体进行电离。正气体离子向带负电的离子收集器提供电流。离子电流与压力成比例。离子越多，离子电流越高。四极阵列由四个不锈钢电极组成。直流和高频电压施加到所有电极后，会形成一个复杂的磁场。通过改变电压，可以控制该磁场。 

产生的振动只允许特定质量的离子“飞过"并到达检测部分： 

具有适当质荷比 (m/e) 的离子将以稳定的三维轨迹振荡通过电极。 

质荷比不正确的离子将不受控制地发生振荡，并与电极发生碰撞

离子到达离子收集器并产生输出电流，该电流用于度量通过滤波器的离子相对丰度。离子电流或分压与质荷比的关系随后显示在装置上或软件中。

根据所述工作原理，LEYSPEC RGA 通过查找和显示气体成分来验证气体纯度。这使 LEYSPEC 能够识别气体污染物，并执行进一步的工艺和设备控制，从而全面优化工艺性能和产量。

一体化仪器，操作简单直观

LEYSPEC 残余气体分析仪具有高灵敏度，可检测痕量的污染物或工艺气体。该产品系列具有针对 100、200 和 300 amu 的解决方案。在恶劣环境中操作时，可实现高达 300 °C 的加热除气温度。

LEYSPEC 自带软件并集成了控制和显示装置，可通过它们直观地实现操作。无需连接到计算机即可进行简单的残余气体分析。只需按一下按钮即可显示关键气体，还有一个备用显示界面，用于显示额外的气体。

它们也适用于高真空系统中要求严格的测试程序和残余气体分析。

凭借 LEYSPEC 的预安装功能，如氦气泄漏测试、可选气体的警告和错误级别，以及启动后脱气功能或通气功能，此残余气体分析仪对于任何系统来说都是一个有益补充。

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