930系派克parkerUHP隔膜阀产品介绍

930 系列隔膜阀（1-1 / 8英寸的阀体尺寸）可用于各种手动操作和气动执行器操作。它拥有优异的可靠性，泄漏完整性和清洁度，使其在UHP半导体行业中成为理想的应用。

派克930系列1-1/8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性，高循环使用寿命和低颗粒发生，非常适用

于UHP半导体应用。

930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计，可大限度地减少颗粒产生和截留，减少半导体应用中*不

可*的工艺污热，该系列阀门的严格设计，控制阀座和隔膜应力，以提供稳定和免维护的使用寿命。930系列

阀门润湿部件由特种金属制成，提供卓*的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的

Vericlean"316l不锈钢材质。Vericean"是派克的UHP级小锈钢，温道是高强度钻具合全材质。930系列让

提供聚三氟氯，烯(PCTFE)，聚国国树脂(PEEK)和聚酰业胺(Vespel)材质的阀座，口使930代门

与多种工艺流体相兼容。这些材料结合930系列严格的设计特点，给予了930系列产品在入口压力高达300

psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命。

930系列气动代可以配警限位开关或接近开关，用以提供开-关位置指示，还有多种代体构造可选，包括

930Y系列(Y型阀)和SM930系列(面板安装)。

930系列阀门上内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试，以适应在苛刻的

UHP应用中，保有其性能和稳定性，

市场:

·半导体

·分析实验室

·制药

·生物制药

·航空航天

·工业

930系派克parkerUHP隔膜阀特点与优势:

·电抛光表面光洁度:5微英寸(Ra)

·高循环使用寿命(包括耐腐蚀性服务)

，内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留

，全压力范围使用:从真空到300 psig

·内部泄漏率:≤1x10-9 scc/sec He

·外部泄漏率:s2x10-10 scc/sec He

，AOP驱动，额定压力为75 psig

应用:

，腐蚀性气体和特种气体

·半导体工具

·工具连接

·燃气柜

·阀组箱(VMB)

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