8865SC13型美国BIRD射频终端13.56 MHz 超稳定油电介质射频终端，为了获得最大的工艺重复性和一致性，现代等离子体应用需要精确的射频功率调节和控制。确保准确且可重复地将射频功率输送到腔室的关键因素是射频发生器的校准、调节和监控。 Bird 现在提供超稳定、低 VSWR 负载，与 Bird 4020 系列等精密功率传感器一起使用时，可以快速、精确地测量发电机功率输出。 8865SC13 不仅提供低 VSWR，而且在工艺关键频率下 VSWR 总变化小于 0.1 dB。无需负载预热，也无需因校准不同时间长度而产生重复性风险。这可以最大限度地减少与校准相关的误差并控制更关键的过程变量之一。

    8865SC13型美国BIRD射频终端产品规格如下：

额定功率1千瓦频率范围和驻波比DC 至 28 MHz @ 1.1 最大值

驻波比小于1.05:1阻抗Ω50（标称）驻波比稳定性< 0.1 dB，稳定频率下 0 至 100% 额定功率稳定频率13.56兆赫±10赫兹连接器“QC"LC 型（母头）- 通常提供联锁热敏开关 - 可选正常情况下关闭。开启温度 236 °C (457 °F)热敏开关额定值115 伏交流电，10 安

230 伏交流电，5 安温度范围工作： +5 至 +40 °C（+41 至 +104 °F）

存储： – 40 至 +45 °C（– 40 至 +113 °F）高度1520 m（5000 英尺）湿度最大 95% 非冷凝冷却方式油介电和对流电流方面19.5 英寸 x 7.5 英寸 x 13.2 英寸

496 x 184 x 334 毫米重量32 磅。

14.5公斤结束黑色环氧树脂

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