大家对于美国Parker高流量UHP隔膜阀955系列了解吗?接下来为大家简要概述一下: 美国Parker 955系列高流量UHP隔膜阀(Veriflo) 定位:半导体/超高纯气体/液体专用高流量隔膜阀,Cv最高0.55、真空–250psig、零颗粒、零泄漏、百万次寿命,UHP高流量 。 一、核心产品特点(现场必记) 1. 流量与压力(高流量核心) - 流量:标准Cv=0.30,高流量Cv=0.55(气动AOP)
- 压力:真空–250psig(17.2barg);NC型250psig、NO型125psig
- 爆破压力:750psig(手动)、375psig(气动) 2. 洁净与防颗粒(UHP关键) - 无螺纹/无弹簧内腔:润湿区无螺纹、无弹簧,零颗粒生成、零滞留
- 表面处理:内部电解抛光,Ra≤5μin(10μin标准)
- 材质:阀体Vericlean 316L VAR不锈钢(Parker专属UHP级)
- 洁净组装:Class 100洁净室装配,100%氦检 3. 密封与泄漏(零泄漏) - 隔膜:Elgiloy钴基合金,高强度、耐腐蚀、百万次循环
- 阀座:标准PCTFE,可选PEEK/Vespel,耐强腐蚀
- 内漏:≤4×10⁻⁹ scc/sec He;外漏:≤2×10⁻¹⁰ scc/sec He
- 双密封:金属–非金属双密封,零外漏、防结晶卡滞 4. 结构与寿命(可靠免维护) - 驱动:手动(Mini-Lever)/气动(AOP),可选位置反馈
- 温度:-40℃~+66℃,宽温稳定
- 寿命:≥100万次循环,腐蚀工况仍稳定
- 死体积:极小,易吹扫、无残留 5. 衍生型号(灵活适配) - 955:标准2通高流量
- 955Y:Y型双联,双阀一体、节省空间、优化吹扫
- SM955:表面贴装(Surface Mount),模块化歧管安装 二、核心技术要点(选型/安装/维护) 1. 材质速览(润湿区) - 阀体:Vericlean 316L VAR
- 隔膜:Elgiloy(钴基合金)
- 阀座:PCTFE(标准)、PEEK、Vespel
- 压盖/螺母:17-4PH不锈钢 2. 安装要点(UHP必守) - 洁净安装:Class 100洁净环境,无油、无尘、无颗粒
- 连接:1/4"管 stub/VCR,无死区、无滞留
- 方向:按阀体箭头,严禁反向安装
- 扭矩:按手册,严禁过紧(损坏隔膜/阀座)
- 间距:多阀并排≥1.5×阀体宽度,防干扰 3. 维护要点(延长寿命) - 日常:检查泄漏、温度、动作,清洁表面
- 定期(6–12个月):氦检泄漏、更换隔膜/阀座(原厂)
- 故障:泄漏→换隔膜/阀座;动作卡滞→清洁+换密封
- 禁忌:严禁打磨/焊接阀体、严禁非原厂配件、严禁超压/超温
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