德国IFM电容式传感器*，*，IFM电容式传感器。70年代末以来，随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺点得到克服。电容式传感器是一种用途极广，很有发展潜力的传感器。
典型的 易福门电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时，薄膜会发生一定的变形，因此，上下电极之间的距离发生一定的变化，从而使电容发生变化。但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系，因此，要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。 IFM电容式传感器的初始电容量很小,而传感器的引线电缆电容(lm~2m导线可达800 pF)、测 量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容"却较大，这一方面降 低了传感器的灵敏度;另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，将使传感器工作不稳 定，影响测量精度，其变化量甚至超过被测量引起的电容变化量，致使传感器无法工作。因此对 电缆的选择、安装、接法都要有要求。 为减小电缆分布电容影响，可将电子线 路的前级装在离传感器敏感部分很近的地 方，或采用所谓“双层屏蔽等电位传输技术"， 又称“驱动电缆"技术。这种方法的基本思路 是:连接电缆采用内外双层屏蔽，使内屏蔽层 与被屏蔽的导线电位相同，因而两者之间没 有容性电流存在，这样使引线与内屏蔽之间 的电缆电容不起作用，外屏蔽仍被接地而对 外界电场起屏蔽作用，其原理如图5 - 15所 示。外屏蔽接地后，对地之间电容将成为1:1放大器的负载，它也与电容式传感器的电 容无关。这样无论电缆形状和位置如何变化，都不会对易福门传感器的工作产生影响。 IFM电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点： (1)高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小，输人能量也很低。电容式传感器因带电极板 间静电引力极小(约几个10-5 N)，因此所需输入能量极小，所以特别适宜用来解决输入能量低的 测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。 (2)温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热极小，对稳定性影响甚微。 (3)结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。电容式传感 器结构简单,易于制造,可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强 磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。 (4)动态响应好。由于极板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很 高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。 (5)可以实现非接触测量，具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠 轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙 等对测量的影响。 如需了解更多的资讯可以致电广联公司。 德国IFM电容式传感器*部分型号： LK1023 LK1024 LK1222 LK1223 LK1224 LK3025 LK3122 LK3123 LK3124 LK7022 LK7023 LK7024 LK8122 LK8123 LK8124 LL8022 LL8023 LL8024 LR7022 LR7023 LR7024 LT8022 LT8023 LT8024 M01393 M01412 ME5002 ME5010 ME5011 ME5012 MFS200 MFS201 MFS202 MFS203 MFS204 MFT200 MFT201 MGS200 MGS201 MGS202 MGT200 MK5004 MK500A MK5013 MK501A MK5022 MK5023 MK5024 MK5029 MK5049 MK5051 MK5054 MK5055 MK5056 MK5057 MK5058 MK5059 MK5100 MK5101 N95000 N95001 N95002 NE5001 NE500A NE5012 NF5001 NF5002 NF5003 NF5004 NF5008 NF500A NF5010 NF5012 NF501A NF5023 NF5029 NF502A NF5030 NF5031 NF5037 NF5038 NF5039 NG5001 NG5002 NG5003 NG5004 NG500A NG5010 NG5011 NG5016 NG5019 NG501A NG5021 NG502A NI5001 NI5002 NI5003 NI5004 NI5007 NI500A NI5011 NI5012 NI501A NI502A NM500A NM501A NM502A NM503A NN5001 NN5002 NN5008 NN5009 NN5011 NN5013 NN5015 KG5066
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