70年代末以来,随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的易福门电容式传感器。这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小,使其固有的缺点得到克服。电容式传感器是一种用途极广,很有发展潜力的传感器。 典型的易福门电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时,薄膜会发生一定的变形,因此,上下电极之间的距离发生一定的变化,从而使电容发生变化。但易福门电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系,因此,要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。 IFM电容式传感器厂家特卖常见的型号: KI5071 KIE2015-FRKG/NI KI5081 KI-3015-ANKG/NI/6M KI5082 KI-3200NFAKGP2T/US KI5083 KI-3200NFPKGP2T/US KI5084 KIA3080BFAKG/2T/US KI5085 KIA3080BFPKG/2T/US KI5052 KIE3015-FPKG/NI/55V/US-100-DPX KI5057 KI-2015-ARKG/NI/0,5M/PH/ST KI505A KIE4150NCPKG/3D KI5060 KI-2015-FRKG/NI/PH KI5065 KIE3015-FPKG/NI/3D IFM电容式传感器厂家特卖 特点优势 IFM电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点: (1)高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小,输人能量也很低。易福门电容式传感器因带电极板 间静电引力极小(约几个10-5 N),因此所需输入能量极小,所以特别适宜用来解决输入能量低的 测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常髙,能 感受0.001μm甚至更小的位移。 (2)温度稳定性好。IFM传感器的电容值一般与电极材料无关,有利于选择温度系数低的材料, 又因本身发热极小,对稳定性影响甚微。 (3)结构简单,适应性强,待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。IFM电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧,以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强 磁场等恶劣的环境中,也能对带有磁性的工件进行测量。 (4)动态响应好。由于极板间的静电引力很小,可动部分做得很小很薄,因此其固有频率很 高,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作,特别适合动态测量,如测量振动、瞬时压力等。 (5)可以实现非接触测量,具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠 轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,IFM电容式传感器具有平均效应,可以减小工作表面粗糙 等对测量的影响。
|