德国易福门电容式传感器*的型号：
KI5019 KI501A KI5023 KI5024
KI5030 KX5002 KX5004 LI2041
LI2042 LI2043 LI5041 LI5042
LI5043 LI5044 LK0024 LK1022
LK1023 LK1024 LK1222 LK1223
LK1224 LK3025 LK3122 LK3123
LK3124 LK7022 LK7023 LK7024
LK8122 LK8123 LK8124 LL8022
KG5066 KI0016 KI0017 KI0020
KI0021 KI0024 KI0040 KI0041
KI0042 KI0044 KI0048 KI0051
KI0052 KI0053 KI0202 KI0203
KI0205 KI0206 KI0207 KI3507
KI3511 KI3513 KI3514 KI5001
KI5002 KI5003 KI5006 KI5015 德国易福门电容式传感器*
IFM电容式传感器的特点：电容量小，变化更小（PF级）。理论上，交流电桥可作为易福门电容传感器的测量电路，但由于电容及变化太小，不易实现。包括（1）调频电路（2）运算放大器式电路（3）二极管双T形交流电桥（4）脉冲宽度调制电路
调频电路特点：
（1）转换电路生成频率信号，可远距离传输不受干扰。
（2）具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。
（3）但非线性较差，可通过鉴频器（频压转换）转化为电压信号后，进行补偿。
运算放大器式电路运算放大器要求：
易福门电容式传感器的特点：
（1）解决了单个变极板间距离式IFM电容传感器的非线性问题
（2）要求Zi及放大倍数足够大
（3）为保证仪器精度，还要求电源电压的幅值和固定电容稳定
（4）由于Cx变化小，所以该电路实现起来困难
（5）输入阻抗高（避免泄漏）、放大倍数大（接近理想放大器）
IFM电容式传感器的优势：
IFM电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点：
(1)高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小，输人能量也很低。易福门电容式传感器因带电极板 间静电引力极小(约几个10-5 N)，因此所需输入能量极小，所以特别适宜用来解决输入能量低的 测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热极小，对稳定性影响甚微。
(3)结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。电容式传感 器结构简单,易于制造,可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强 磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。
(4)动态响应好。由于极板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很 高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。
(5)可以实现非接触测量，具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠 轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙 等对测量的影响。
|
