德国莱宝油扩散泵主要技术参数: 抽速:50 000L/S 极限全压强:< 5.0 x 10-7mbar 德国莱宝油扩散泵的工作原理 与其它的类型的蒸汽流真空泵相比,油锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低的,因此气体分子几乎可以全部扩散进入蒸汽射流中,而其中的绝大部分分子会被抽出。 扩散泵的抽速(与进气口面积相关)高而恒定, 在进气压强约为10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低压强范围内,蒸汽射流不受真空室内压强变化的影响 德国莱宝油扩散泵供货范围 油扩散泵在供货时已具备连接条件,但没充泵油。 交货前泵内部已擦洗干净,无油且已抽空。高真空和前级真空法兰已经配装有发运法兰,及所需配套之密封圈和中心定位环及全套紧固部件。 DIP 系列扩散泵 欧瑞康莱宝于九十年代研发的DIP系列大口径扩散泵,对传统扩散泵在许多方面做了重大改进,其主要特点: 抽速大;抽速范围为3000~50000升/秒(ISO/DIN标准,既中国国家标准),共分六种规格; 泵壁有凹槽,冷却水管卧在凹槽内,增大了接触面积,冷却效果好; 油蒸气返流量低。不加外置水冷挡板并使用DIFFELEN普通矿物油,其返流量为1×10-3毫克/厘米2每分钟,如果采用DC705硅油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分钟; 极限真空度高;低于10-8mbar; 重量轻;50000升/秒抽速的DIP50000扩散泵的重量仅为560公斤; 采用插入扩散泵内部的多支加热棒加热,热传输效率高,因此预热、时间短;对于抽速为3000-20000升/秒的泵,预热时间为小于25分钟;30000和50000升/秒的泵,预热时间小于30分钟; 可在不停泵的情况下更换扩散泵的加热棒; 装有过热保护装置,防止泵油过热; 通过油观察窗可随时观察油是否变质; 有注油口和放油口,换油时无须把扩散泵从真空系统中拆下; 大允许前级压力高,为0.6mbar。 在冶金、热处理和镀膜等领域,欧瑞康莱宝为客户度身订做各种规格的扩散泵组。 提高性能质量 (1)目前国内生扩散泵的厂家较多,型号、尺寸不统一,大泵越作越大,小泵则很少生产。况且对泵的全面性能也没有考核指标。行业应对提高性能和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作,使用户配套方便。 (2)泵在结构方面:要缩小尺寸、降低重量,保证零件的加工精度,可增加级数,提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。 (3)增加附件。如设置挡油帽,过热保护装置(对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位)。出口压力的监控。 (4)规定油量的大值和小值和耗油量(如0.5~0.7 g/h等)。要观察油位,以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。 (5)给出合适的前级泵的容量。 (6)为了节能加热功率要可调,要快速起动和快速冷却停泵,提高设备的运转率。 (7)给出各种被抽气体的性能曲线,给出对一些气体的压缩比(方便用户选用。 (8)用微机控制运行和故障诊断。 (9)密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。 (10)给出各种泵的返油率限定值,进一步降低返油率,扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽(1~10-5Pa以下),它比其它高真空泵的可靠性高,成本低,只有少数部件需要维修,泵内无运动部件,工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr,使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。 |